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TYTAN 桌面系列


TYTAN 桌面型炉系统是鉴于节省预算费用而专门设计的高质量电阻热壁系统. 该系统具有卓越的工作性能和工艺重复性. 用户界面,运行记录,运行状态和菜单管理在用户终端完美的衔接起来,另外该系统操作使用非常安全. 关键设计和性能特性包括:

  • 结构紧凑
  • 低电能消耗
  • 柔性设计-根据客户要求定制
  • 简单的石英器件更换步骤
  • 柔性设计- 产品尺寸兼容 4英寸 , 5英寸 ,和6英寸晶圆
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